12月10日，由中国环境科学学会水处理与回用专业委员会、上海市集成电路行业协会、清华大学环境学院和清华苏州环境创新研究院联合主办的“第九届电子行业水处理与循环利用技术研讨会暨集成电路行业超纯水关键设备与材料技术研讨会”在上海成功召开。来自芯片和面板制造厂商、电子级超纯水制备厂商、电子行业设计研究院和高等院校的专家学者150余人参加了会议。
会议现场
上海市经信委新材料处处长陆寅，中国环境科学学会水处理与回用专业委员会主任、清华大学环境学院教授、秀钟书院院长胡洪营为会议致开幕辞。
上海市经信委新材料处陆寅处长在致辞中深刻指出，上海正在构建世界级集成电路产业集群，而水处理关键设备与材料的自主化，已成为保障产业链安全与竞争力的战略要冲。他呼吁业界通过紧密的产学研协同，加速国产化替代进程。
清华大学胡洪营教授进一步强调，水是集成电路产业的“隐形血液”，水处理技术高度直接关系到产业的绿色未来与成本控制。突破高端树脂、膜材料、在线监测仪器等核心环节，是行业迈向高质量发展的必由之路。
上海市经信委新材料处处长陆寅致辞
清华大学环境学院教授、秀钟书院院长胡洪营致辞
新加坡工程院院士、北京师范大学水科学研究中心教授黄浩勇，同济大学环境科学与工程学院院长王志伟，清华大学深圳国际研究生院副教授王文龙，江苏中电创新环境科技有限公司副总工程师周伟、沃顿科技股份有限公司技术服务总监王思亮、上海集成电路材料研究院有限公司检测分析事业部主任李春华、南京师范大学环境学院教授左晓俊、南京大学环境学院副教授施鹏、杭州科百特过滤器材有限公司技术支持主管刘阳阳、江苏苏青水处理工程集团有限公司总工程师张玉格、佛山柯维光电股份有限公司副总经理蔡明丞、浙江泰林分析仪器有限公司生物研发高级经理叶武青和重庆瑞朗电气有限公司总工程师陈红雨等专家紧密围绕集成电路产业对超纯水水质、废水回用率及绿色低碳发展的迫切需求，设立多项核心议题，深入探讨行业技术挑战与发展路径。
攻坚废水治理与“零排放”：专家们聚焦含氟废水、有机污染物（如PFAS）等难处理废水，分享了深度处理与资源化回收的最新技术路径。讨论不仅关乎环保合规，更着眼于将废水中的有价值成分“变废为宝”，提升企业资源效益。
突破超纯水核心材料与装备：会议对电子级反渗透膜、高端超滤膜、脱气膜、半导体级离子交换树脂等关键材料的国产化进展进行了集中展示与研讨。来自企业和高校的报告显示，国产核心材料在多项指标上已逼近甚至达到国际先进水平，规模化应用案例正在不断增加。
创新监测与精准控制技术：针对超纯水中难以察觉的痕量污染物，会议探讨了真空紫外（VUV）高级氧化、TOC在线实时监测、颗粒物控制等尖端技术。这些技术是实现水质稳定、预警风险的关键，其国产化突破意味着我国集成电路工厂将拥有更自主、可靠的“水系统大脑”。
强化系统集成与产业链协同：与会专家强调，超纯水系统的自主可控绝非单一材料或设备的突破，而是系统集成和高度统筹，水处理与回用专业委员会可以发挥学术和技术引领作用，搭建跨领域的产学研交流平台。作为连接最终用户与上游供应链的关键枢纽，超纯水系统集成企业需承担起“链长”职责：一方面，需精准对齐芯片制造厂在良率提升、成本控制和运维稳定性等方面的核心需求，定义系统级性能指标；另一方面，需将终端严苛的应用场景与技术挑战，逆向传导至材料、设备、仪表的研发端，引导国产化攻关从“可用”走向“好用”，从“模仿适配”迈向“面向需求的创新超越”，最终构建安全、高效、富有韧性的产业生态。
本次会议系统阐述了集成电路行业在超纯水制备、废水再生利用、关键材料设备自主化及系统绿色低碳运行等领域的科学问题、关键技术、核心装备与产业发展现状与未来趋势，为电子行业，特别是集成电路产业的水处理与循环利用技术的高质量发展凝聚了共识、指明了方向。
